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真空计量要满足真空应用中量大面广的实际需要,解决真空应用中的真空测量和校准问题,为真空应用提供计量服务和技术保障。正是真空应用对真空计量不断增长的需要和越来越高的要求,促进了真空计量学的发展,使真空计量的研究领域不断扩大,参数不断扩充,量程不断延伸,精度不断提高。真空计量已成为计量学的一个新的独立分支,在国际上得到了承认。
真空计量中三个基本物理量是真空度(全压力和分压力)、气体微流量和抽速。真空计量的主要研究内容为:
a.真空度(全压力)的测量与校准;
b.真空质谱分析、分压力的测量与校准;
c.气体微流量(或漏率)的测量与校准;
d.真空泵的抽速测量。
真空计量学(Vacuum Metrology)是有关真空测量和校准的知识领域,包括理论和实践的各个方面。在计量学中,计量标准不是一台台孤立的仪器或设备,而是一个完整的、统一的、有机的体系。建立国家计量标准,要求不同地区(或不同实验室)相同类型(或不同型)的计量标准之间相互校准作为基础。
在国际上,许多国家建立了真空计量中心,建立了国家真空计量标准,形成了真空量值传递系统。真空计量标准的国际比对,是真空计量学发展的重要阶段,是真空量值统一的中心工作。国际标准化组织(ISO)设立的真空科学技术委员会(TC)颁布了一系列有关真空计量方面的国际标准和国家标准文件,促进了国际范围内真空量值的统一。
国防科工委真空计量一级站是一级国防计量技术机构,建在兰州物理研究所。本站的前身是国家科学技术委员会的全国真空测试基地,建于1963年,1975年组建成“第七机械工业部真空计量一级站”,1983年组建成国防科工委真空计量一级站。1990年通过了国防计量考核认可,1998年通过了国防真空校准实验室能力资格认可,2003年通过了中国实验室国家认可委员会(CNAL)认可。
防科工委真空计量一级站承担着国防军工系统的真空量值计量和量值传递工作,保证真空量值的准确与统一,为国防军工生产、武器装备和型号工程的研制提供计量服务和技术保障,也为国民经济建设服务。
我国国防真空计量基本上保持与国外同步发展,已建立了较完整的真空度(全压力)、分压力和气体微流量(或漏率)的计量标准体系,建成了国防真空校准实验室,满足了真空应用对真空计量的需求。