超高真空直线驱动器的工作原理

真空系统小编为大家介绍一下超高真空直线驱动器的工作原理。超高真空直线驱动器的直线驱动和真空密封是依靠高真空焊接波纹管来实现(图1)。波纹管的两端分别和移动法兰与真空法兰焊接。移动法兰在真空一侧和驱动轴连接，另一侧设计成螺纹构造。

移动法兰和把手之间的螺纹构造相匹配，旋转把手带动波纹管作直线运动，从而带动驱动轴的直线运动。真空法兰内部安装有直线轴承，可实现驱动轴的运动准直性。

直线驱动器的外手柄上带有刻度盘，可以很清晰的查看驱动轴的行程，螺纹控制，精准度很高。

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图1 直线驱动器的示意图

直线驱动器精度高，重复性强，可和直流或步进电机组合，实现电控操作。