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真空镀膜机保养知识 1. 关闭泵加热系统,然后分离蒸镀室(主要清洁灰尘,于蒸镀残渣) 2. 关闭电源或真空系统程序打入维护状态
3.清洁卷绕真空系统(几个滚轴,方阻探头,光密度测量器) 4. 清洁中罩室(面板四周) 5. 泵系统冷却后打开清洁(注意千万不能掉入杂物,检查泵油使用时间与量计做出更换或添加处理) 6. 检查重冷与电气柜设备