真空阀门：真空镀膜机各部件以及原理分析

真空阀门：真空镀膜机各部件以及原理分析

真空镀膜机的真空腔体----根据加工产品要求的差异，真空腔体大小也不一样，目前应用比较多的有直径0.9M、1.3M、1.5M、1.8M等。腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实，真空腔体各部分有链接阀，用来链接各抽气泵浦。真空阀门

真空镀膜机的辅助抽气系统：排气系统为镀膜真空系统的重要组成部分，机械泵、增压泵/罗茨泵、扩散泵三大部分组成。这个排气系统为：扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold。排气流程：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后续抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。

真空镀膜机的机械原理以及其分类：

机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用很广的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体体积不断膨胀从而获得真空。

一．机械泵的分类：机械泵有很多种，常用的有滑阀式（主要用于大型设备），活塞往复式，定片式和旋片式（此目前运用很广）真空阀门

二．机械泵是从大气开始工作的，它的主要参数有极限真空、抽气速率、此为设计和选用机械泵的重要依据，单级泵可以将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空，双级泵可以将容器从大气抽到6.7*10-2PA，甚至更高。抽气速率是指旋片泵，按额定转速运转时，真空阀门单位时间内所能排出气体的体积，可用公式计算：Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸气结束时空腔截面积，L表示空腔长度，系数表示转子每旋转一周有两次排气过程，Vs表示当转子处于水平位置的时候，吸气结束，此时空腔内的体积较大，转数为n。机械泵排气的效果还与电机的转数以及皮带的松紧度有关，当电机的皮带比较松，电机转数很慢的时候，机械泵的排气效果也会变差，所以要经常保养，点检，机械泵的密封效果也需要经常点检，由过少，达不到密封效果，泵内会漏气，油过多，把吸气孔堵塞，无法吸气和排气，一般在油位线下0.5厘米即可。

三．机械泵常常被用来抽除干燥的空气，但不能抽除含氧量过高、有爆炸和腐蚀性的气体，机械泵一般被用来抽除长久性的气体，但是对水气没有好的效果，所以它不能抽除水气。旋叶泵中起主要作用的部件是定子、转子、弹片等，转子在定子里面但与定子不同心轴，像两个内切圆，转子槽内装有两片弹片，两片弹片中间装有弹簧，保证了弹片紧紧贴在定子的内壁。