真空系统设计中需要注意的问题

真空系统设计中需要注意的问题

(1)阀门、疏水阀、集尘器、真空泵等真空部件相互连接时，使排气管短、管流导大、管径一般不小于泵口直径是系统设计的重要原则。但同时要考虑安装维护的方便性。有时，为了防止振动和减少噪音，允许将机械泵设置在靠近真空室的泵室内。

(2)机械泵(包括罗茨泵)振动。为了防止振动传播到整个系统，通常使用软管来减少振动。软管有金属和非金属两种。无论使用哪种软管，都要保证在大气压力的作用下不会被压坏。

(3)建成后，应便于测量和检漏。生产实践告诉我们，真空系统在工作过程中往往容易出现漏气现象，影响生产。为了快速找到泄漏孔，需要分段进行泄漏检测，因此每个被阀门封闭的分段至少要有一个测量点，用于测量和检测泄漏。

(4)中配置的阀门和管道应使系统抽气时间短，使用方便，安全可靠。一般有蒸汽流量泵作为主泵(扩散泵或油增压泵)；和作为前级泵的机械泵，除了前级管道之外，还应该有预真空管道(从真空室到机械泵的管道)。其次，在真空室和主泵之间有一个高真空阀门(也叫主阀门)，在前管道上有一个前管道阀门(也叫低真空阀门)；预真空管道上设有预真空管道阀门(称为低真空阀门)。通常情况下，主泵上的高真空阀门在阀盖下是不能处于真空的，但阀盖上的阀门是在大气压下开启的，这要通过电气联锁来保证。前级管道阀门和预真空管道阀门应考虑阀门本身能在大气压下开启。在以蒸汽流泵为主泵的真空系统中，主阀应盖至主泵，前级管道阀也应盖至主泵，预真空管道阀盖应盖至真空室。在机械泵的入口管道上，应设置放气阀。当机械泵停止工作时，可立即打开阀门，使机械泵的入口放空至大气，以防止机械泵油回流至管道，因此阀门应与机械泵电气联锁。真空室还应配备放气阀，用于装料和取料。阀门的位置要考虑到放气时气体冲量大，防止真空室内的薄弱部件因冲量过大而损坏。排气阀的尺寸与真空室的容积有关。要考虑出血时间不能太长，会影响工作。

(5应保证排气稳定可靠，易于安装、拆卸和维护，操作方便，部件之间的连接具有互换性。为了在运行中实现稳定排气，要求主泵性能稳定，阀门操作灵活，密封可靠，系统中各部件连接处气密，真空室密封性能良好。备用真空元件的连接采用标准尺寸，确保互换性。在真空系统的设计中，原则上每个封闭管道的尺寸都应该有一个可调的尺寸。以前是用软管来解决这种可调节的尺寸，现在大部分系统都不用软管了。但通过提高真空部件的加工尺寸精度，利用连接法兰上的密封橡胶圈解决安装误差，可以提高系统的强度和刚度，减少系统使用的支架，更加美观。

(6)应采用新技术，实现自动控制和联锁保护。随着真空技术的发展，要求整个抽气过程实现自动化操作，如用真空继电器控制罗茨泵在1333Pa启动。水压继电器用于将蒸汽流量泵的水压控制在一定压力。水压不足或停水时，可立即切断电源并报警。防止泵被烧坏。对于工艺和参数要求严格的复杂真空系统和设备，宜采用微机程序控制，更安全可靠。

(7)要求节约能源，降低成本，使用方便可靠。这样做有很大的经济意义，可以使设计的真空应用设备有广阔的市场。真空阀门