真空系统的常见问题有哪些？

真空系统的常见问题有哪些？

真空系统是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套系统，广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。该系统在使用过程中可能会遇到多种常见问题，以下是对这些问题的归纳：

一、真空泄漏

真空泄漏是真空系统常见的问题之一，泄漏会导致真空度下降，影响系统的正常运行。泄漏通常发生在真空管道的连接处和真空容器的连接处。为解决这一问题，可以采取以下措施：

检查所有连接处和接头是否紧密，并使用专用密封胶修 复破损的密封处。

通过注入氦气或氮气等易检测的气体来寻找泄漏点，并使用探测器进行追踪。

如果系统中存在微小孔隙，可以使用真空度较低的系统进行烘烤，挥发掉其中的气体，并修 复孔隙。

二、泵故障

泵是真空系统中不可或缺的部分，如果泵出现故障，将导致真空度下降或系统无法运行。泵故障可能表现为噪音、振动、漏油等现象。为解决这一问题，可以采取以下措施：

检查泵的安装是否稳固，如未正确安装，可使用支架或减振器进行修 复。

如发现泵漏油，应立即停机，并在清洁工作台上检查泵的油封。对于磁悬浮离心泵，还需检查磁轴处是否有磨损。

对于循环水泵，应定期检查水泵的冷 却水供应是否正常，并进行清洁和维护。

三、污染物问题

真空系统中的污染物可能对正常运行产生很大影响，污染物可能来自系统中的材料、流体或气体。为解决这一问题，可以采取以下措施：

在组装真空系统时，选择具有较低挥发性和较好化学稳定性的材料，以减少污染物的释放。

定期对系统中的流体进行检查和更换，防止水分、油份或其他杂质积聚。

使用适当的过滤器或气体净化器来净化进入系统的空气或气体，降低其污染程度。

四、高压问题

真空系统在某些特定应用中可能需要承受高压，例如高真空环境下的电子束焊 接。然而，高压可能引起系统中的电晕放电或其他故障。为解决这一问题，可以采取以下措施：

使用绝缘材料或电晕管等来防止电晕放电，这些设备可以将高电压转移到固定位置，避免对系统产生影响。

定期检查高压部件，确保其正常运行和绝缘状态。

在高压区域周围设置适当的安全措施，防止操作人员受到电击。

综上所述，真空系统的常见问题包括真空泄漏、泵故障、污染物问题和高压问题等。为解决这些问题，需要定期检查和维护系统，并采取适当的措施进行修 复和预防。