真空系统的种类及工作状态

真空系统的种类及工作状态

真空系统广泛用于各种不同的工艺过程中，其种类繁多。照真空系统抽气过程的状态，可分为两大基本类型，开式真空系统和闭式真空系统。

所谓开式真空系统，就如系统中有气体流动，各处压力不等，系统中各截面之间会出现压力差，后一级真空泵将被抽气体排到大气中去。

而闭式真空系统就是抽气设备与被抽容器是封闭在一起的。刚开始抽气时系统内也会有压力差，有气体流动，但当达到动态平衡时，系统内各处的压力几乎相等，其主要特点是没有气体从系统中排出到系统外的大气中去。

如果按真开工系统的工作压强分，可以有粗真空系统、低真空系统、高真空系统、超高真空系统以及极高真空系统。

按照真空系统的清洁成都来分的话，会有油真空系统、无油真空系统。

由于人们的习惯，在实际应用中也经常把上述不同的分类加以综合，例如“大型动态金属高真空系统”、“无油超高真空系统”等。因此，上述的分类方法不是严格不变的，往往是结合真空系统的特点给以恰如气氛的称呼，可能也会更适用些。

为什么要把真空系统加以分类呢？其目的是在于找出同类真空系统的特殊性，用以指导各种真空系统的设计、制造、装配和使用。