简析真空技术的应用与发展

简析真空技术的应用与发展

真空技术随着越来越广的应用，遍及航空航天和军工、光伏发电等领域，是工业体系不可或缺的重要技术。目前真空技术受到世界各国的重视，真空设备、技术、材料、配件等有着广阔的市场前景。我国真空设备行业每年以20%左右的速度增长，在国家重大项目工程的扶持中，国内的真空技术产业已不能在质上满足市场要求。下面我们真空系统就三个重大产业对真空技术的需求做简要概述：

冶金工业：冶金工业需用到的真空技术包括钢液真空处理、真空熔炼、真空感应熔炼、感应壳熔炼、真空电弧重熔等。其中，真空钢液处理是冶金工业很重要的一方面。这项技术主要应用于原子能工业，宇宙空间技术、海洋钻探技术、燃气发动机技术、汽车工业、飞机制造业、高速列车等高技术工业中，对钢中的某些元素进行控制和处理，对钢铁材料的寿命、可靠性提出了越来越高的要求。目前各种应用行业拥有现代化的真空处理设备，大大降低了钢中氮、氢、氧等杂质的含量，处理水平也不断提高。美、日、德等国已经将此项技术作为国家标准，并对其轴承钢、电工用钢和优质大型锻件采用１００％的真空脱气处理，完成现代化钢铁工业的基本要求。

电子与微电子工业：微电子技术要求电子元器件和电路的尺寸越来越小，集成度要求越来越高。这与真空技术的应用密不可分，特别是超大规模集成电路的微细加工技术，其几何图形结构的形成、超薄层生长技术、粒子束注入技术都需要高质量、清洁的真空环境，可见其发展对真空技术、装备的依存性。目前，日本真空厂商的销售额中60%左右是面向电子工业，而当今的超大规模集成电路大约有３／４的工序需要有真空条件。

机械制造行业：这是一个带动性强、带动作用广的产业，目前欧债危机的阴霾仍未散去，各国积极将机械制造产业作为提振经济的重点。它的技术应用一般集中在真空热处理、真空钎焊、真空涂层刀具等传统领域。真空热处理是指将真空技术与热处理技术紧密结合的新型热处理技术。它对工具、模具和精密耦件的处理可起到提高使用寿命、加速化学热处理的吸附和反应过程等特点。另外，它本身工艺操作灵活、无公害的特点成为行业常用的处理手段。