优点：
保持内部为真空状态，适用于需要真空环境的各种工艺过程。
不锈钢材质具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊合性好、导电率和导热率低、能够在 - 270 — 900℃工作等优点，在高真空和高真空系统中应用广泛。
铝合金和钛合金等材质也逐渐被用于制作真空腔体，以满足不同需求。
通过喷砂或电解抛光等方式减小腔体内壁的表面积，有利于实现高真空。
氩弧焊等焊合方式可避免大气中熔化的金属和氧气发生化学反应，保证焊合质量。
缺点：
内壁表面会吸附大量气体分子，成为影响真空度的放气源。
为实现高真空，需要对腔体进行高温烘烤，增加了操作复杂度。
真空泵的优缺点（以几种常见类型为例）：
干式螺杆真空泵：
优点：无油污染、噪音低、振动小，适用于对洁净度要求较高的行业；具有较强的耐腐蚀性和可靠性，能在恶劣环境下稳定运行；能达到较高的真空度，抽气速度在较宽压力范围内相对稳定。
缺点：制造工艺复杂，材料成本较高，导致整体成本较高；内部间隙较小，容易被较大颗粒杂质磨损或卡死，使用前需要对被抽气体进行过滤处理。
油封旋片真空泵：
优点：能提供较高的真空度和较大的抽气速率。
缺点：需要定期维护，如更换油和过滤器；活塞是运转部件，存在磨损问题，随着检修次数增加工作真空度会下降；工作噪音大，耗油量大，故障率高；不能抽吸带有颗粒状的介质和具有腐蚀性的介质。
无油涡旋真空泵：
优点：环保、高能效、低噪音，在诸多领域得到广泛应用。
缺点：相关信息未明确提及。
罗茨真空泵：
优点：抽气量大、结构简单、维护方便。
缺点：抽气过程中存在脉动现象，在某些对稳定性要求较高的场合可能不太适用；不能抽吸带有颗粒状的介质；转子高速旋转不易做防腐处理，因此不能抽吸具有腐蚀性的介质。
扩散泵：
优点：能获得高的真空度。
缺点：抽气速率相对较低，且需要预热时间。
分子真空泵：
优点：限压力低、抽速快，特别适用于高真空领域的应用。
缺点：对气体种类，且价钱较高。
