真空镀膜腔体

真空镀膜腔体发布时间：

真空镀膜腔体的检漏是必不可少的,上海畅桥真空系统制造有限公司有全自动数控加工中心龙门铣等设备.

主要产品:铝合金真空腔体,真空镀膜腔体,不锈钢真空腔体,销售真空炉体价格,PVD系列镀膜机腔体,腔体配套真空管道等系列真空产品.

真空镀膜腔体的检漏是必不可少的,真空镀膜机检漏是指在镀膜机内部的真空下降到一定程度的时候,如0.5mbar以下的时候,拿氦气喷在怀疑有漏的地方,或者检查标准保养时动到的部位.这时需要有人观察检漏仪的漏率指示值的变化.当漏率上升或漏率值变化剧烈的时候,及时指出漏点所在位置,并做记号.

真空镀膜腔体

1.将氦质谱检漏仪HLT560连接到泵组前的检漏口上.

2.启动检漏仪,检漏仪开始抽取镀膜机腔体中的空气,同时启动镀膜设备的泵组.

3.在镀膜机腔体内部的真空下降到一定程度(0.5mbar)以下的时候,,将氦气喷在疑似有漏的地方,或者检查标准保养时动到的部位.这时观察检漏仪的漏率变化.当漏率上升或漏率值变化剧烈的时候,及时标记漏点位置.

4.所有可疑点都检测完成后,关闭检漏仪,停下镀膜机的泵组并将镀膜机腔体打开,将检测出的漏点进行处理(如更换密封圈,清洁等),处理完成后,再按照上述步骤检查一遍,直到所有漏点都被清除,检漏过程就完成了.

上海畅桥真空系统制造有限公司有全自动数控加工中心龙门铣等设备.

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不锈钢真空腔体,铝合金真空腔体的品质获得并通过ISO-9001质量标准体系认证,所有产品均经过真空氦质谱检漏仪出厂