法兰

真空密封从密封圈的材料来分主要有橡胶、聚四氟乙烯、聚氨酯等合成材料组成的密封以及金属密封。

橡胶、合成材料具有的高弹性、高耐磨性和适宜的机械强度等优点，使其广泛应用于真空密封，但是因其具有较大的出气率和渗透率，并且不能高温烘烤、不耐辐射等特点，而受到应用限制。

金属密封则弥补了橡胶密封的以上缺点，因而广泛应用于超高真空环境。对于超高真空，一般要求漏率小于1×10-11Pa·m3/s，为了更好的密封配合，一般要求法兰密封面的粗糙度≤Ra0.8。由于金属材料同样具有一定的弹性以及延展性，所以常常作为各种真空以及压力设备的密封。

在金属密封圈受到外界压力而发生弹性变形时，在弹性恢复力的作用下，密封圈具有恢复原始形状的趋向，这种趋向填补了密封面的缝隙，从而起到密封的作用。

应用金属的弹性作为密封件的材料有：无氧铜、纯铝、金、银等硬度相对较软的金属;某些金属如金属铟，因其具有很好的延展性，在受到外界压力后可以向各个方向流动，填补密封面缝隙，同样可以起到密封作用。

无氧铜和纯铝价格相对便宜，常作为标准件密封圈使用。无氧铜密封圈在刀口法兰(CF)中使用最广，并且已形成国家标准，具体可参考标准GB/T6071-2003《超高真空法兰》。