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真空腔体是使内部保持真空状态的容器。必须考虑真空室的体积,材料和形状。目前,不锈钢是真空系统的主要结构材料。其中,300系列不锈钢是含有10%至20%Cr的低碳钢。具有优良的耐腐蚀性,低除气率,无磁性,可焊接性,低电导率和热导率,可达到-270°C。 具有在一900°C下工作的优点,并广泛用于高真空和超高温环境中。下面是关于真空腔体的相关介绍。
近年来,为了降低真空腔体的制造成本,使用铸造铝合金制造腔已逐渐普及。另外,有许多使用钛合金制造专用真空室的例子。为了减小空腔内壁的表面积,通常使用喷砂或电解抛光来获得平坦的表面。真空系统的腔体采用电解抛光进行表面处理。
焊接是真空腔体制造中重要的环节之一。为 了避免熔融金属与大气中的氧气发生化学反应从而影响焊接质量,通常采用氩弧焊来完成焊接。氩弧焊是指在真空腔体焊接过程中在钨电极周围喷洒保护性氩气,以防止熔融的高温金属发生氧化反应。
原则上,真空室的氩弧焊必须是内部焊接,即焊接表面在真空侧,以免出现死角和虚漏。真空室不允许进行内部和外部双重焊接和双重密封。真空室的内壁表面吸收大量的气体分子或其他有机物质,从而成为影响真空度的气体释放源。要获得超高真空,必须在150°C至250°C的高温下烘烤室,以促进=气体在材料的表面和内部尽快释放,烘烤方法包括在加热带.上缠绕加热带。空腔体的外壁,将铠装的加热丝固定在空腔的外壁上,或直接将空腔放置在烘烤帐篷中。