真空腔体制作的注意事项有哪些

真空腔体是保持内部为真空状态的容器，真空腔体的制作要考虑容积、材质和形状。不锈钢是目前超高真空系统的主要结构材料。中300系列不锈钢(表1)是含Cr10% ~ 20%的低碳钢，具有优良的抗腐蚀性、放气率低无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、能够在-270 ~ 900°C工作等优点,在高真空和超高真空系统中,应用广泛。

为了降低真空腔体的制作成本,采用铸造铝合金来制作腔体也逐渐普及。 另外，采用钛台金来制作特殊用途真空腔体的例子也不少。

为了减小腔体内壁的表面积，通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。超高真空系统的腔体,更多的是利用电解抛光来进行表面处理。

焊接是真空腔体制作中最重要的环节之一。为避免大 气中熔化的金属和氧气发生化学反应从而影响焊接质量，通常采用氩弧焊来完成焊接。氩弧焊是指在焊接过程中向钨电极周围喷射保护气体氩气,以防止熔化后的高温金属发生氧化反应。

超高真空腔体的氩弧焊接，原则上必须采用内焊，即焊接面是在真空一侧， 以免存在死角而发生虚漏。真空腔体不允许内外双重焊接和双重密封。

真空腔体的内壁表面吸附大量的气体分子或其他有机物，成为影响真空度的放气源。为实现超高真空，要对腔体进行150 ~ 250°C的高温烘烤，以促使材料表面和内部的气体尽快放出。烘烤方式有在腔体外壁缠绕加热带、在腔体外壁固定铠装加热丝或直接将腔体置于烘烤帐篷中。比较经济简单的烘烤方法是使用加热带,加热带的外面再用铝箔包裹,防止热量散失的同时也可使真空腔体均匀受热。