真空腔体的清理保养工作对于维持其性能和延长使用寿命至关重要。以下是详细的清理保养步骤和注意事项：
一、清理步骤
关闭电源与气体：首先，确保关闭真空腔体的电源开关，并断开总电源保护器。同时，关闭所有与真空腔体相连的气体阀门。
拆卸与准备：如果可能，拆卸真空腔体以便于清理其内部。准备所需的工具箱，包括专用软毛刷、纤维布、去离子水、氮气等。
机械清洗： 使用专用软毛刷或纤维布将真空腔体表面的灰尘和污物清理干净，特别关注难以触及的角落。 如有需要，可以使用专用洗涤剂或去污粉溶解在温水中，倒入真空腔体，用软毛刷进行刷洗。 刷洗完成后，用清水冲洗干净，确保无残留物。
化学清洗（如有需要）： 选择适宜的清洗溶液，如酸碱中和剂或弱酸溶液。 在进行化学清洗前，确保真空腔体密封，避免溶液进入真空系统。 将清洗溶液注入真空腔体，静置一段时间。 随后用清水冲洗，确保溶液和残留物被清理。
干燥与组装： 使用干净的压缩空气或氮气吹干真空腔体，确保无水分残留。 干燥后，重新组装真空腔体，确保所有部件正确安装且密封良好。
二、保养要点
定期检查：定期检查真空腔体的清洁度，特别是体壁等关键部位。建议每月至少检查一次。
观察窗维护：观察窗是观察腔体内放电情况的重要部件。如表面出现微蚀或模糊不清，应及时用无尘布（纸）沾酒精进行清洁或直接更换真空玻璃。
真空泵维护：真空泵是真空腔体的核心部件之一。应定期检查真空泵的油位和油的纯度，及时更换防氧化专用油。建议每三个月更换一次真空泵油。
使用注意事项： 在进行清理和保养时，务必确保电源已关闭且气体阀门已关闭。 使用适当的清洁剂和工具，避免划伤或损坏真空腔体表面。 在进行化学清洗时，保持适当的防护措施，避免对皮肤和呼吸系统产生伤害。
通过以上步骤和注意事项，可以确保真空腔体得到良好的清理和保养，从而维持其良好的性能并延长使用寿命。
