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用金加工和焊接形成一个密闭的腔体,所有的接口全部用橡胶圈或铜圈密封,用真空泵将腔体中的气体排出,就形成了真空腔室。 真空腔室的实现:无论什么材料,只要能够形成一个密闭的容器,然后用真空泵(种抽气体用的泵,种类有很多)把腔室内的气体压强抽到低于正常气压的状态,都称作是真空室。举简单的例子,医用针筒,一端用手堵上,抽动活塞,形成的低气压腔室,也是真空室。不过真空室根据气压的高低程度不同,又分为以下几种:
1)10^5Pa(100000Pa)(正常气压)~10^2Pa 称作低真空
2)10^2Pa ~10^-1Pa 称作中真空
3)10^-1Pa ~10^-5Pa称作高真空
4)小于10^-5Pa的称作超高真空